半導(dǎo)體行業(yè)
Semiconductor Industry
半導(dǎo)體材料和設(shè)備的國產(chǎn)化推動了我國半導(dǎo)體硅片的規(guī)模化生產(chǎn)。
磁流體密封傳動部件是鍺、硅、藍(lán)寶石、碳化硅等半導(dǎo)體材料的晶體生長及加工裝備的重要零部件之一。
國產(chǎn)化的磁流體密封傳動部件將繼續(xù)采用國際先進(jìn)技術(shù)，保持國際一流品質(zhì)。
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體前道工藝、Ingot工藝應(yīng)用、電子級大硅片生長設(shè)備
Diffusion工藝應(yīng)用：
TEL8”機(jī)臺、TEL12”機(jī)臺、KE8”機(jī)臺、KE12”機(jī)臺等
Implantation工藝應(yīng)用：Varian機(jī)臺、Axcelis機(jī)臺等
