目前隨著LED芯片向微米級(jí)發(fā)展，Mini/Micro LED已逐步成為L(zhǎng)ED行業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)，更小的芯片尺寸和點(diǎn)間距，對(duì)芯片制造和封裝提出了更高的要求。LED外延片是LED芯片生產(chǎn)最核心的環(huán)節(jié)，也將決定著LED芯片的質(zhì)量，因此，LED芯片廠商對(duì)外延生長(zhǎng)設(shè)備是格外重視。磁流體密封傳動(dòng)部件是MOCVD設(shè)備的核心部件之一，磁強(qiáng)沃格專業(yè)研發(fā)的磁流體密封傳動(dòng)部件歷經(jīng)眾多設(shè)備廠商驗(yàn)證，確保絕對(duì)純凈的密閉空間。

MOCVD工藝主要應(yīng)用了集成驅(qū)動(dòng)式磁流體。我們已與國(guó)內(nèi)眾多光電終端客戶建立維護(hù)合作，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵部件國(guó)產(chǎn)化。產(chǎn)品也應(yīng)用于第三代半導(dǎo)領(lǐng)域，為客戶提供定制化服務(wù)。